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等離子刻蝕

更新時間:2023-10-08

瀏覽次數(shù):2505

簡要描述:

供應SAT 510等離子刻蝕,賽奧特(SAT)等離子刻蝕秉承滿足市場需求、保證產(chǎn)品質(zhì)量、不斷研發(fā)創(chuàng)新、全面實現(xiàn)自主研發(fā)生產(chǎn)、完善的售后服務,從事等離子體行業(yè)時間久,客戶基礎好,遍布全國的高校、研究所、企業(yè),同時海外市場銷售有加拿大、沙特阿拉伯等。

品牌賽奧特(SAT)

賽奧特(SAT)等離子刻蝕   SAT 510

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應用領域  

賽奧特(SAT)等離子刻蝕適用于材料科學、光學、光電子學、生命科學、電子學、生物醫(yī)學、半導體、高分子科學、微觀流體學等領域.

主要實驗應用  

1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡單刻蝕 7.去除表面有機物  8.疏水實驗  9.沉積實驗  10.形成新的基團  11.鍍膜前處理等

技術特點  

1.實時檢測和顯示真空度,使得設備在智能控制下有了可靠的依據(jù).

2.真空值可自由設定,(范圍:10—60)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實驗效果的準確性和可靠性.

3.真空腔體采用鉸鏈側(cè)開門結(jié)構,帶有觀察窗,材料為6061材質(zhì).

4.腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.

5.電容式(CCP)激發(fā),實驗效果穩(wěn)定,均勻可靠,電極板置于樣品倉內(nèi)頂部懸掛.

6.采用觸摸屏顯示控制,手動,自動兩種模式任意切換.

7.程序化設計,預先編輯好程序,儀器自動完成實驗.

8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學反應,使材料表面成分、組成和結(jié)構發(fā)生變化,并能得到某些特定的基團。

9.無需耗材,使用成本低,無需特殊進行維護,在日常使用中保持儀器清潔即可。

技術規(guī)格  

1.樣品腔體尺寸:255(深度)X155(直徑)mm ,不銹鋼材質(zhì).

2.放置樣品托盤尺寸:150()X230(長)mm,材質(zhì):6061鋁氧化本色

3.射頻頻率:40KHz  

4.射頻功率:300W,0300W可調(diào),精度:1.

5.輝光放電功率:10W----300W

6.輝光放電時間設定:1秒到9959.

7.氣路設置:3氣路(2路進氣,一路放空).

8.工作氣體穩(wěn)定時間:可調(diào),可設定,范圍:0--180.

9.進氣控制:兩路浮子流量計控制.

10.工作氣體:空氣\氮氣\氬氣\氮氫混合氣\氬氦混合氣等均可; 也可接入無腐蝕性、無毒的工作液體溶液,例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO),接入工作液體需要選配接枝儀來配套使用。

11.進氣壓力:通入空氣時常壓,接入鋼瓶時,鋼瓶進氣壓力調(diào)整到0.1-0.2Mpa

12.供電電源:~220V50Hz

13.外形尺寸(寬**高)mm:440ⅹ490ⅹ485

14.整機重量(約):25Kg

真空泵

標準配置為機械油泵:1)抽速:2/2)極限壓強:6*10-2   3)噪音;≤66db 4)抽氣KF16法蘭接口,排氣口KF25接口 5)電源線為陰插線

基本配置  

主機+真空系統(tǒng)(雙極機械真空油泵、油霧過濾器、真空管、KF16法蘭)、外加氣體軟管、樣品托盤、說明書、電源線、合格證

七選配件

(一)機械油泵   型號:VRD-8  

1.抽速:2.2/  2.極限壓強:≤5*10-2  3.噪音;≤56db   4.工作環(huán)境溫度:5—45

(二)干泵(1  型號:GWSP150

1.抽速:2/  2.極限壓強:≤6    3.噪音;≤57db    

4.工作環(huán)境溫度:5--45℃  

    干泵(2)型號: SPH10

1.抽速:2.8/ 2.極限壓強:≤2  3.噪音;≤55db

4.工作環(huán)境溫度:5--45℃  

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